BANNER邦納緊湊型DF-G2光纖放大器，使用DF-G2檢測晶圓的中心挑戰(zhàn)

在半導(dǎo)體工業(yè)中，檢測晶圓的位置至關(guān)重要。晶圓的價(jià)值高達(dá)100,000美元，涉及的機(jī)器耗資數(shù)百萬美元。確保晶圓片放置正確可防止損壞價(jià)格高昂的晶圓和設(shè)備。通過檢測晶圓片的中心，操作員可以確保在將晶圓片放入室內(nèi)時(shí)，將晶圓片正確放置在機(jī)械臂上。

在半導(dǎo)體行業(yè)解決方案

通過將邦納DF-G2與四套對射式PLIS-1光纖配合使用，操作員可確保晶圓片位于機(jī)械臂的末端執(zhí)行器上，以便在將其傳遞到真空室內(nèi)時(shí)不會出現(xiàn)損壞。當(dāng)機(jī)械臂將晶圓片移入真空室內(nèi)時(shí)，光纖束會發(fā)生中斷，系統(tǒng)將采用一定的算法，根據(jù)光纖感應(yīng)光束的中斷時(shí)間來計(jì)算確切的晶圓位置。

BANNER邦納DF-G2響應(yīng)快速，可快速測量和檢測晶圓的中心。如果晶圓片偏離中心，機(jī)械臂就能有時(shí)間將晶圓片調(diào)整到正確位置，從而防止損壞晶片和設(shè)備。

對射式PLIS-1光纖具有90?視角，而且其光束小，因此可用于精確測量晶圓片位置。這些光纖還適用于高溫環(huán)境，例如半導(dǎo)體制造的真空室區(qū)域。在空間有限的區(qū)域內(nèi)，遠(yuǎn)程放置的放大器以及光纖可帶來最佳的解決方案。

BANNER邦納緊湊型DF-G2光纖放大器，邦納DF-G2光纖放大器擁有業(yè)界的快速響應(yīng)速度，可以實(shí)現(xiàn)10微秒的響應(yīng)時(shí)間以及5微秒的重復(fù)精度。

型號：DF-G2-PS-Q5

DF-G2 Red Beam High Speed Dual Display Fiber Amplifier

Range: Depends on fiber; Input 10-30 V dc

Outputs: 1 PNP

Connection: Euro M12 4-pin 150 mm PVC Pigtail

零部件號： 87559

-帶IO-Link的型號在主站設(shè)備和傳感器之間采用點(diǎn)到點(diǎn)的通信連接，便于遠(yuǎn)程監(jiān)控、示教和配置

-響應(yīng)速度為10μs、15μs、50μs、250μs、500μs和1000μs

-雙數(shù)顯，同時(shí)顯示實(shí)時(shí)信號值和閾值

-簡單的用戶界面，傳感器易于安裝，可通過數(shù)顯和開關(guān)/按鍵或遠(yuǎn)程輸入示教線進(jìn)行編程

-通過示教(TEACH)和設(shè)置(SET)可設(shè)置*的過量增益和閾值，滿足絕大多數(shù)應(yīng)用要求，尤其適用于快速響應(yīng)或者低對比應(yīng)用場合

-熱穩(wěn)定性好，縮短了啟動時(shí)間，在操作過程中保持信號穩(wěn)定性

-經(jīng)濟(jì)顯示模式可將放大器功耗降低25%

-串?dāng)_抑制算法允許兩個(gè)傳感器近距離安裝和工作

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